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纳峰科技的中型FCVA 单腔体研发/生产镀膜系统 — BFSI0805,是一台面向高性能真空镀膜工业应用的全自动化生产(研发)工具,由于采用多台FCVA镀膜源及磁控溅射、离子束清洗源,可满足多种不同电子、机械部件的表面处理需求。设备提供了整套操作简便的用户控制系统及菜单管理系统,允许操作人员通过简单的图形界面,以及全触摸屏对系统进行实时操作及监控。该设备提供的“一键式”操作模式可使整个镀膜流程自动完成。

  为满足工业界及科研院所的研发需求,纳峰还提供小型FCVA单腔体研发镀膜系统— BFSI0505。

适用于

可低温沉积TAC-ONTM非晶钻石膜

可低温沉积各类陶瓷膜(TiN, TiAlN, Al2O3, TiO2…)在塑料基片上<70°C

在其他基片上< 150°C

可低温沉积各类金属及合金膜

铝、铜等金属切削刀具

PCB钻头、钻针

模具、模仁

半导体封装模具、工具